仪器特点：

稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；

源气质量流量计可控制到0-100SCCM；

2路校准口入口和1路吹扫口；

1路稀释气入口，3路输出口和1路排空口；

42个按键薄膜键盘；

8位数字输入/输出，1路串行输出；

彩色大屏显示，

性能参数：

稀释入口：1路标准；

源气入口：1路标准，1路吹扫；

稀释流量：0-10SLM(0-20SLM可选)；

源气流量：0-100SCCM（0-2SLM可选）；

流量精度：<1%FS；

流量重复：<±0.15%FS；

线    性：<±0.5%FS；

入口压力：12-35PSIG；

集成输出：3路输出，1路放空（1路渗透端可选）；

操    作：42按键薄膜键盘手动输入或外接键盘；

校准定义：20个工厂配置流路，每个流路可大20个线性点；

校准类型：稀释气，臭氧，GPT；

气体定义：1路稀释气，20路源气；

自动校准：可驱动20路定时程序，用户可自定义；

数字输入/输出：可使用触点触发或TTL逻辑控制的8位校准功能；

通    讯：RS232,以太网TCP/IP可选；

温    度：5-40℃；

外形尺寸：156mm（H）×364mm(W)×316 mm (D)；

重    量：8.6kg；

电    源：98-264VAC，100VA，50/60HZ。