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KD系列气浮导轨,具备高精度、高刚度、大承载、非接触、无摩擦、高速度、运动可靠、无振动的优点,主要应用于精密测量设备、无摩擦运动试验设备、空间模拟试验装置、半导体加工设备、多轴气浮平台等高精度无振动场合;可根据客户技术要求定制非标产品。
技术参数
项目 | 技术规格 |
行程 | ≦2000mm |
承载 | 500kg |
刚度 | 300N/um |
运动精度 | ≦0.5um/100mm |
供气压力 | 0.4—0.8Mpa |
工作气压 | 0.35—0.45 Mpa |
定轨材料 | 花岗岩 |
环境温度 | -20—50℃ |