SQC-310系列高精度顺序沉积或共沉积控制仪

凭借技术、增强的显示和实惠的价格，INFICON SQC-310 系列提供同类薄膜控制器无法企及的优势。您可以为自己的应用选择理想的型号：连续沉积 （SQC-310） 或共沉积 （SQC-310C）。

功能

• 明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本

• 标准 RS-232 和 USB（可选 RS-232 和以太网）

• 设有 “Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作

• 用于开发、测试和下载过程的 Windows^®程序，以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序

• 精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz

• 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料

• 使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控