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适合单层或多层过程的先进、实惠的速率控制仪 现在，只需一台适合单层和多层过程的薄膜沉积控制仪便 能满足您的全部需求。采用ModeLock技术的XTC/3 提供久经考验的防模式跳变功能，以确保始终如一的质 量。选择XTC/3薄膜沉积控制仪，您可以高度精确地控制 沉积速率和厚度，这款控制仪几乎能够处理任何层数， 安装简单，可靠性可为您确保生产率。 作为薄膜沉积控制仪领域的全球，INFICON现在 推出一款购置成本非常低，但却能够为您带来价值的控制仪。 无论您的控制需求反映的是生产还是研发用途， INFICON XTC/3都能精确匹配您的需求。 遍布全球的INFICON支持网络 无论您身在何处，您都将获得快速解答、贴心服务和最 长正常运行时间。INFICON在世界各地都设有办事处， 是一家在全球范围内为客户提供本地服务和技术支 持的薄膜沉积控制仪制造商。

特性一览 • 提供单层和多层型号 • ModeLock技术可防止因模式跳变而出现薄膜厚度 错误 • 支持INFICON Crystal 12®、CrystalSix®和双晶传感器 自动晶片切换，以提高生产率 • XTC/3M多层型号支持多达99个过程、999层、32种 薄膜、2个传感器和2个源 • XTC/3S单层型号支持多达9种薄膜、2个传感器和2个源 • TFT液晶显示屏提供易读的图形显示 • 可为薄膜和过程分配描述性名称以方便检索 • 提供以太网连接 • 可通过独立 (不需要计算机) 或可选Windows软件实现 计算机操作 • 即插即用地替换INFICON XTC/2控制仪 (限于XTC/2的 功能和命令集)。