EXTORR四极质谱分析仪
时间：2012-05-04 阅读：3315
-
提供商
深圳市科锐诗汀科技有限公司 -
资料大小
1273501 -
资料图片
-
下载次数
432次 -
资料类型
pdf -
浏览次数
3315次
特点及应用：
•操作简单
•可靠，方便
•在线原位分析真空环境及工艺气体
•定性或定量分析监测溅射镀膜反应工艺过程中真空室内的气体分压强
•优化工艺过程参数，提高镀膜产品质量
•对真空系统检漏