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PEV-1美国HEY压电阀

时间:2011-04-15      阅读:1520

     压电阀是为了适用于要求控制气体流量的场合,主要应用领域包括: 磁控溅射,光学镀膜,太阳能电池,ITO,等离子体刻蚀等。

特点

     1.     控制模式:开环控制和闭环控制
     2.     易于集成:可与国产自动压强控制仪配套使用,来实现闭环控制,达到稳定压强的目的,性价比高,同时亦可选择进口压强控制仪
     3性能稳定,压电陶瓷片寿命长.    
4.     响应时间快
5.     无机械连接件,无伺服马达,无磨损,在断电的情况下可实现自动关闭的特点
技术参数
流量                0­-500 scmm
     响应时间            2 毫秒
     集成漏率            5×10-8sml/sec
     驱动电压            0-100VCD/0-24VDC
     电路连接            标准BNC接头(Q9)
温度范围            100C至600C
     zui大入口压强        50PSI
    重量              800

压电阀是我们公司的一大特色,欢迎广大用户: 刘曙东  我们将竭诚为你服务!
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