APC真空蝶阀介绍
时间：2024-02-02 阅读：1423
APC真空蝶阀介绍
日扬科技的APC真空蝶阀是一种可以通过电动马达控制蝶板的开度，从而调节真空腔体的压力的真空阀门，主要应用于半导体、光电面板、太阳能、CVD等产业的真空制程。
产品结构介绍：
APC蝶阀一般被安装在真空泵组与真空制程腔室之间，通过真空计反馈的电压值控制蝶阀密封板开度大小，从而达到调节腔室压力的目的，搭配O型圈的设计，可以隔绝真空侧与大气侧，防止污染和泄漏。
控制系统介绍：日扬的APC真空蝶阀的控制器和执行器集成在一体，可以通过多种通讯接口（如MODBUS、DeviceNET等）与外部控制器或软件进行通信。APC真空蝶阀的控制器还具有友善的用户界面，可以方便地设定和监控阀门状态，以及设置控制参数、循环寿命、压力公差范围等。
非常快速准确的压力控制
*开阀门位置控制
*备用电源：有，用于停电时关闭阀门。
*传感器电源：24V DC 和±15V DC 均有
*2 个线性传感器或模拟线性物理量的输入
*模拟量和数位控制
*环境温度：≤ 70°C max.（控制器部分-24HR）
*远端控制（供客户选择）
*阀门可由主机（本地控制）通过RS232控制；用于初始调整。
*状态和位置以绿色4位亮数字显示。
日扬APC蝶阀具有控制压力精确、反应时间短、使用寿命长、易维修等特点，搭配Htc的APC软件，可以简单快速地设定并监控制程压力。
>>设置控制调整参数：PID GAIN
>>压力和位置控制模式
>>附表测试模式=> 1 cycle schedule
>>设置阀打开/关闭速度
>>记录APC HW/SW 版本, 序列号和型号
>>记录阀门循环和运行时间
>>设置公差范围的压力
>>循环寿命和压力控制记录
>>控制器参数上传和下载
>>断电保护功能
>>屏幕截图
>>压力学习功能