带你走进真空知识世界（一）

中国台湾日扬CF300 Gasket垫片，可耐温度是多少？是否可以用于液态氮的制程环境呢？

CF300 gasket 材质为无氧铜，可耐温度为-200℃~450℃。液态氮温度约为-196℃，如果液氮管路直接与法兰接触，低温会传导至Gasket使其热胀冷缩产生形变，有泄漏的风险。因此可以设计双层管的装置来避免这个问题，如下图所示。

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 作者：深圳市科锐诗汀科技有限公司真空技术中心