INFICON皮拉尼真空计的特点概要
时间:2021-12-07 阅读:1829
INFICON皮拉尼真空计的特点概要
一、 两种类型的皮拉尼规
1、 稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度(INFICON PSG500)
2、 稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)
二、 皮拉尼真空计具体型号
· PSG050/051
· PSG100-S PSG101-S
· PSG500/500-S PSG502
· 皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400 PCG410 PCG550
1)有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
2)两种原理的规管全过程都工作
3)100 mbar—1000 mbar 使用薄膜规信号
4)1 mbar– 100mbar 两规信号同时采用
5)5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号
6)输出的真空度信号(电压)连续,无跳跃
三、皮拉尼真空计应用行业
1)各种高真空泵的前级压力测量,如光伏、镀膜、等离子行业
2) 各种中低真空测量,如照明,冶金
3)真空连锁控制,高真空计的点火开关控制,如PEG100
4) PSG050可*替代TR211,PSG051可*替代TR216
5)PCG400/PCG410现在已升级为PCG550(PCG400/PCG410已经停产),与PSG500 基本相同,但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点,而且不受气体类型的影响,在真空炉,单晶炉,多晶炉,蓝宝石炉上广泛应用
6)PSG100/ PSG101,与PSG500/PSG050基本相同,但前者具有通讯协议功能,在大系统中应用广泛
(版权声明:文章部分内容摘录自友商网络文章《真空计种类这么多,如何选择才最好?》,在此致谢,如有不当请联系删除。)