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NanoCalc 反射膜厚测量系统薄膜的光学特性主要有反射和干涉。NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm -250um的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，在1秒钟内可以分析单层或多达到10层的膜厚。
产品特点NanoCalc 反射膜厚测量系统
使用原理
常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理，通过测量宽光谱范围内的反射率曲线来进行膜厚测量。
查找n和k值 可以进行多达十层的薄膜测量，薄膜和基体材质可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库，用户也可以自己添加和编辑。 应用 NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚测量，包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。 可调谐低通滤光片（Tunable Short Pass Filter)：低通滤光片的角度调谐可以改变截止波长。可以改变的透过范围是截至波长的12%。 宽谱截止带通滤光片(Full Spectrum Blocking Filter)：滤光片具备了超宽光谱范围的深度截止，截止能力可达OD6. |
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