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面议KS-41A 液体粒子计数器从0.1μm测量SOG中的光致抗蚀剂溶液和颗粒，KS-41A 液体粒子计数器可连接多点监控系统。
| 光学系统类型 | 侧散射法 |
|---|---|
| 光源 | 半导体激光器（波长830 nm，额定输出功率200 mW） |
| 接液部件材料 | 合成石英，PFA |
| 粒度部分 | 在0.15μm至0.5μm的 运输时间范围内的10个步骤：0.15μm，0.2μm，0.3μm，0.5μm或更大的4个步骤 |
| 额定流量 | 10毫升/分钟 |
| 大粒子数浓度 | 1,200细胞/ mL（计数损失在5％以内） |
| 电源 | DC12V（KE-40B1提供） |
| 大小 | 约160（H）×300（W）×250（D）mm（不包括突起） |
| 重量 | 约7.5公斤 |
| 产品规格 | KS-42A | KS-42AF | KS-42B | KS-42高炉 | KS-42C | KS-41A | KS-42D |
| 光学系统 | 光散射法 | ← | ← | ← | ← | ← | 光屏蔽方法 |
| 光轴交叉角 | 90° | ← | 70° | ← | ← | 90° | - |
| 细胞材料 | 合成石英 | 蓝宝石 | 合成石英 | 蓝宝石 | 合成石英 | 合成石英 | 合成石英 |
| 小可测量粒径[mm] | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 0.5 | 0.15 | 2 |
| 计数效率[％] | 70±15 | 60±15 | 70到110 | 70到110 | 70到110 | 50±10 | 100±20 |
| 大可测量颗粒浓度[数/ mL] | 1200 | ← | ← | ← | ← | ← | 4000 |
| 额定流量[mL / min] | 10 | ← | ← | ← | ← | ← | 25 |
| 功耗[VA] | 11 | 11 | 6 | 6 | 五 | 14 | 6.7 |
| 工作温度[℃] | 15 - 35 | ← | ← | ← | ← | 15至30岁 | 5到40岁 |
| 使用湿度 | 85％或更少 | ← | 80％ | ← | ← | 85％或更少 | 90％或更少 |
| 储存温度[℃] | -10到50 | ← | ← | ← | ← | ← | ← |
| 储存湿度 | 90％或更少 | ← | ← | ← | ← | ← | ← |
| 重量 | 大约4公斤 | ← | 约3.2公斤 | ← | 大约3公斤 | 约7.5公斤 | 约1.9公斤 |
| 尺寸（不包括投影）[mm] | 240（宽）x 125（长）x 151（深） | ← | ← | ← | ← | 300（宽）x 160（高）x 251（深） | 140（宽）x 125（长）x 150（深） |
| 主要应用 | 湿法，植物 | ← | ← | ← | ← | 成膜，平版印刷 | 电镀液 |
