NanoXSpot微焦点测试仪，NanoXSpot焦点测试仪用于对光斑尺寸 <100 µm 的 X 射线管进行质量保证，根据 prEN 12453-6、prEN 12453-7 评估焦点尺寸 <100 µm 和光斑形状
欧洲计量创新与研究计划项目开发了新的 NanoXSpot (NxS) 测量仪，具有线组、西门子星形和孔图，用于测量小至 100 纳米的聚焦光斑
计算机断层扫描 (CT)可以根据从物体周围不同角度拍摄的一系列 X 射线图像重建物体的体积数据集，这项技术被广泛用于医学中的患者诊断。此外，它还被用于航空航天和电子等行业的无损检测、缺陷与内部结构的评估以及产品尺寸的验证。这些行业对检测分辨力的要求小至纳米级。
随着电子设备的小型化变得越来越普遍，以及随着新技术（如电动汽车）的出现和航空工业中轻质化合物的使用，对 5微米或更小分辨力（大约人类头发丝宽度的 1/10）的 CT 测量的需求日益增加。X 射线管的光斑尺寸直接影响到测量分辨力。但是，对于5微米以下的 X 射线管光斑尺寸，没有guo ji gong ren 的标准或测量方法。X 射线设备制造商采用自有的测量方法导致了不一致的结果。因此，研究人员正在开发基于可溯源表征的测量仪来确定光斑大小、形状和位置的新方法，并将作为这些光斑测量的
guo ji gong ren 标准引入。
欧洲计量创新与研究计划（EMPIR）项目《对光斑小至100纳米的 X 射线管焦斑尺寸的测量 （NanoXSpot，18NRM07）》正在开发新的标准实践，以比目前更高的准确度水平表征 X 射线焦斑。
X 射线管的质量保证 – 光斑尺寸和形状
一段时间后，可能会观察到 X 射线管（尤其是纳米和微焦管）目标的烧毁使用量，这可能导致光斑尺寸增加。一些管制造商允许管目标旋转。这允许改变目标上的焦点位置并提供不失真的焦点尺寸
NanoXSpot 测量仪 (NxS)
全新测量仪设计 NxS-1020 最终确定：
• 使用新开发的算法进行焦点测量和特性分析
• 全新焦点 CT 重建算法
样品支架设计便于测量仪使用
NxS 测量仪上的图案组（4 个象限）：
• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 3-12 µm（Q1）
• 会聚线组图案（Q2 和 Q3）（类似于西门子星）
• 直径为 5 µm 至 1 mm 的孔图案（Q4）
重新设计的 NxS-1022b 仪表
样品架设计便于使用仪表
NxS 仪表上的图案组（4 个象限）：
• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 4-20 µm（Q1）
• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 63 µm（Q2）
• 直径为 5 µm 至 1000 µm 的孔图案（Q3）
• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 25-50 µm（Q4）
NanoXSpot微焦点测试仪，NanoXSpot焦点测试仪规格：
外形尺寸：10 mm x 10 mm 芯片尺寸（带蓝宝石玻璃盖的支架：40 毫米 x 30 毫米 x 5 毫米）
材料
衬底：200 μm 厚硅
吸收器：8 μm 高的金
线宽/间距：公差：+/- 15%
图形线宽 [μm]：4 个象限，每个象限 4 mm x 4 mm;2 个经过改进的西门子星形，具有圆孔和 5 条平行金线，线宽和间距分别为 12 μm、10 μm、8 μm、6 μm、5 μm、4 μm 和 3 μm。最小线宽：3 μm。最小孔径：5 μm
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