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P78.Z100Sk 压电纳米定位台
P78.Z100Sk 压电纳米定位台是一维Z向运动的纳米定位台,它的行程可达200μm,中心具有φ25mm通孔,适用于透射光应用。
产品特点
Z向运动,行程达200μm | 可正向、卧式或倒置使用 | 可定制真空版本 |
产品应用
表面检测 | 显微成像统结构搭建 | 干涉 | 半导体加工与测试 |
真空环境 |