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H61.XYZTR1六轴压电偏摆台

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产品简介

H61.XYZTR1六轴压电偏摆台，是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台，通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动，台体结构紧凑，三种规格型号可供选择，闭环型号定位精度高，是六自由度微操作、微电子精密加工等应用。

H61.XYZTR1六轴压电偏摆台

H61.XYZTR0压电偏摆台可产生六轴的超精密运动用于静态六轴的直线纳米定位及角度纳弧度偏转，中心50mmx50mm的通孔，适于透射光应用。

特点

·六轴运动

·高承载能力

·正向静态使用

·可选配闭环传感器

典型应用

·六轴超精密位置调整

·棱镜位置调整

·光学应用

·透射光应用

H61.XYZTR1六轴压电偏摆台

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