S20/S21压电偏摆/旋转台为一维θz旋转台，产品体积小巧，大旋转角度8.5mrad，承载能力达2kg，可带动镜片做精密旋转运动。

特性：

• θz旋转

• 大旋转角度8.5mrad

• 闭环定位精度高

• 响应速度快

• 体积小巧

典型应用

• 光路调整 • 干涉

• 光束扫描 • 计量

应用实例

   S21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用， 组成多轴精密压电定位台，用于多维精密直线与旋转定位操作。

小体积、高分辨率、高精度

     S21θz一维旋转台采用机构放大设计原理，可以实 现大8.5mrad的旋转，体积小巧、结构紧凑，尺寸仅 为60×60×15mm，非常易于集成到精密旋转设备中。

   采用压电陶瓷作为驱动元件，台体采用柔性铰链机 构，无摩擦、无回差，可以实现0.2μrad的分辨率。内 置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精 度，在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。

驱动控制方式

   S21为θz一维压电旋转台，单通道压电控制器即可驱动控制，闭 环版本P21配套E01系列闭环控制器，实现θz高精度旋转定位控制。

N20/P21压电偏摆/旋转台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。