P92.X25快速刀具定位台
芯明天 品牌
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哈尔滨芯明天科技有限公司
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E80.D12S-I 集成式压电控制器
产品特点
运动自由度 X
标称行程范围（0~120V）18μm
开环分辨率5nm
静电容量7.2μF
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