P92.X25快速刀具定位台
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哈尔滨芯明天科技有限公司
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XD107 系列压电扫描台 XYZ三维
XD106 系列低温真空无磁压电扫描台
产品特点
运动自由度 X
标称行程范围（0~120V）18μm
开环分辨率5nm
静电容量7.2μF
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