P34二维θxθy向压电偏转镜 1.5/3/6mrad是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有高的运动精度和稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P34二维θxθy向压电偏转镜 1.5/3/6mrad系列压电偏转镜是专为大直径镜片而设计，可加载直径达80mm的镜片，它的差分驱动在较大温度范围内表现出出色的角度定位稳定性。P34系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点（并联运动）的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动，多种镜片安装面可选，以获得对不同镜片材料的理想热适应。开环、闭环版本可供选择，所有版本都具有亚微弧度分辨率，且倾斜角度可达6mrad(等于光束偏转12mrad)。

特性

• θx,θy二维偏转，偏转角度6mrad                 • 闭环定位精度高                    • 分辨率高                 • 温度稳定性高                    • 亚毫秒响应时间