XP-63X一维X向压电纳米定位台价格压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨 率高、响应速度快等特点，可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。

特性 XP-63X一维X向压电纳米定位台价格

• 位移60μm                   • 亚毫秒响应时间                   • 承载5kg                   • 1~3维自由组合                   • 重复定位精度可达0.05%F.S.

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1~3维平移台	产品外观	直驱机构式驱动示意图
XP-63X系列压电纳米定位台可通过转接板连接， 组成XY，XZ，XYZ多种运动结构。 多种规格型号可选。 柔性铰链采用精密线切割技术。

小体积、高精度、响应速度快		传感器类型	频率负载曲线
XP-63X系列压电纳米定位台结构设计，具有大机械刚度、大承载、高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有高的使用频率，响应时间可 以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载，响应时间仅为5ms。 XP-63X系列产品体积小巧，XP-630一维尺寸仅为60×45×18mm，易于与其他平台设备集成。 闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号 并反馈给闭环控制器，控制器通过PID算法对检测到的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。

应用

• 半导体技术     • 纳米压印     • 纳米计量     •微操控       • 纳米光刻     •干涉法/ 扫描显微/纳米定位     •生物技术     •质量保证测试     •微加工/精密控制