芯明天六轴并联机构压电偏摆台

H60芯明天六轴并联机构压电偏摆台

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2021-10-15 15:24:39
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哈尔滨芯明天科技有限公司

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产品简介

芯明天六轴并联机构压电偏摆台 N90系列六自由度并联机构,是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用的选择。

详细介绍

芯明天六轴并联机构压电偏摆台特性

六轴θx, θy, θz, X, Y, Z

闭环定位精度高

超小耦合

误差无积累

芯明天六轴并联机构压电偏摆台

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