光热式弱吸收测试SPTS

便携式表面缺陷测量仪

光学薄膜设计软件OptiLayer

菲索型相移干涉仪

PSM装调显微镜

3D轮廓仪/测量模块

3D 快速测量仪

动态光学轮廓仪

激光量热法弱吸收测量仪

夹具、薄膜衰减器

实时型应力仪

高精度应力仪

哈特曼镜头测量系统 SHSInspect

哈特曼反射式波前测量系统 SHSInspect RL

哈特曼波前探测器SHS Lab

MTF全自动镜头参数测量仪

光学元件及系统参数测量仪OTS

全自动像增强管MTF测量仪

镜面定位仪

拼接型应力仪

超精密三坐标测量仪

反射率/透过率/光学损耗 测试仪

刀具

CGH全息器件

镜头吸附工具

镜头成像分析辅助模块

非球面定心辅助模块

高精度可见/红外光定心仪

桌面式可见/红外光定心仪

离子源

化学气相沉积/反应离子刻蚀系统 PECVD/RIE

磁控溅射镀膜系统 MSD

双离子束溅射镀膜系统 DIBD

离子束抛光刻蚀机 IBF/IBT

离子束刻蚀系统 IBE/RIBE/IBM

同步偏振相机

泰曼格林型动态干涉仪