OMI 深紫外-近红外

多功能波前传感器

CCD的量子效率曲线

SENSOFT：软件

Sensoft：模块化软件包
Ø  可控制OMI的硬件    Ø  执行Shack-Hartmann（SH）分析
Ø  计算Zernike系数，诊断（对准和正确的焦平面），区域和模式波前，MTF，点列图 
Ø  具有用于光学系统在线调整的循环模式

OMI用于生产线：
Ø  带有专用PC的OMI可以轻松的适应生产线          Ø  它可以与制造设备的PC形成闭环工作
Ø  软件模块定义IP通信协议，并在局域网中的PC之间传输结果

          快速回路中的在线校准                                                  MTF测量                    

                                                                       除去数据中存在的倾斜和离焦的影响后的MTF

Ø  通过连续不断地监测彗差和像散，可以轻松实现复杂光学系统的校准。

Ø  显示彗差和像散的各个（x，y）部分以及总系数。

Ø  每次可以对一个组件进行优化，因为该软件可以显示一个感兴趣的组件。

带深紫外-可见光相机的ECM上的OMI

Ø  Φ=0.2mm、fl=22mm，适用于紫外-可见光波段（193-750nm）

Ø  Φ=0.2mm、fl=11mm，适用于近红外波段（750-1000nm）

Ø  分辨率32×32，适用于瞳孔直径6.5mm

主体

相机：CCD, CameraLink, 12bits (120-1000nm)

外形尺寸：150 (L) x 82 (W) x 82 (H) mm

重量：800 g

主要特点

测量技术：哈特曼波前传感器

在平行光下或单次镜头焦点测试：

平行光（带有校准装置）

对准镜头的焦点（带有针孔校准装置）

可用不同波长的光源

提供校准装置：

高品质平行光源（电动或手动）

针孔校准装置

配件：光源、扩束器/压缩器、准直仪

软件

Ø  全面波前分析：Zernikes，分区和模拟WF，点列图，MTF，EE，PSF，M²

Ø  通过软件轻松对准镜片组：使用彗差和像散校正的图形指示

Ø  激光的稳定性：激光束聚焦的图形指示