X轴（水平）性能

驱动长度-X/最小

200mm/0.1mm

测量速度

0.1mm/s至13mm/s

驱动速度

可达13mm/s

X轴数据采样间隔

长度为200mm时0.125μm

Z轴（垂直）性能

可使用高度

190mm

定位速度

0.25mm/s至10mm/s

传感器

标称传感器量程（Z）（驱动箱在0°状态）

长测杆长度60mm

14mm

长测杆长度120mm

28mm

分辨率

0.8nm @ 14mm量程

测针杆部长度、针尖尺寸、测力

60mm测杆、2μm半径锥球形钻石针尖、1mN接触力

系统性能

形状误差-Pt（球校准半径误差）

100nm @ 22mm 通常小于60nm @ 22mm

半径测量不确定性

0.1mm-80mm=1%-0.005%标称值

80mm-1000mm=0.005%-0.1%标称值

1000mm-2000mm=0.1%标称值

测量能力

工件直径

300mm

工件髙度

190mm

工件重量

10Kg