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PD300-UV-193 是一种宽光谱范围的光电二极管激光测量传感器。它有一个 10x10mm 的孔径,带有旋转支架和一个可拆卸的过滤器。不带滤光片时,其光谱范围为200-1100nm,功率测量范围为20pW-3mW。带滤波器的光谱范围为 220nm 至 1100nm,功率范围为 2µW 至 300mW。在 193nm 处有一个额外的校准点,精度为 ±6%。该传感器带有一根 1.5 米长的电缆,用于连接到仪表或 PC 接口。
光圈 | 10x10mm |
光谱范围 | 200-1100nm |
功率范围 | 20pW-300mW |
尺寸 | 120 长 x 13 宽 x 21 深(毫米) |
脉冲能量 | 50微焦 |
平均功率密度 | 10W/cm2 |
响应时间 | 0.2秒 |
平均功率 | 300毫瓦 |
193nm辐射测量有哪些特殊要求?
193nm 准分子激光辐射由于与普通物质的强相互作用,在测量时需要特别注意。这种辐射被普通空气和空气中的水蒸气吸收,因此测得的强度每厘米变化 1%。因此,为了准确测量,请确保从激光器到测量设备的距离与到您希望知道功率/能量的点的距离相同。此外,当使用带有扩散器的能量传感器时,请注意扩散器表面在放置几天不使用时会吸附气体和水蒸气,这会使读数降低几个百分点。在传感器上运行激光最多一分钟或直到读数稳定,然后进行测量。