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白光干涉测厚仪
YCT MFM-3000F非接触硅片测厚仪
YCTMFM-3000F非接触硅片测厚仪工作原理:设备配备上下两个NIR探测器,通过获得探测器位置和硅片反射,得到TT厚度,再通过NIR穿透DCtape获得DCtape厚度T2,从而得到硅片厚度T1的数据
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