产品简介
VCA3000S晶园表面接触角影像分析仪,专门用于分析晶圆表面的清洁度,样品台可水平旋转360度。
详细介绍
主要特点:液滴轮廓影响分析自动接触角计算 300mm晶圆样本平台可调角度扩散背景光源辅助侧光源自动注液针筒防刮摇臂式针筒座,防止晶圆在上下片时被刮伤 技术参数:测量范围/精度/重复性:0-180°,±0.5°,±1° 样品台尺寸:12〞wafer 台样品尺寸:4〞6〞8〞12〞,不大于12〞接触角测量和控制 VCA-Performa for WindowsTM 时间依赖型角度测量 Dynamic-2500 表面自由能计算 SE-2500 统计过程控制 SPC 悬滴表面张力测量 PDAST