仪器参数和配置：（1）交流电源: 300W 13.56 MHz （2）交流电源匹配: 自动匹配（3）控制: 软件控制（4）尺寸: 61 X 61 X 30 cm, 重量： 75 lbs （5）样品室: 直径20.3mm,25.4mm深（6）标准耐热玻璃内衬，可选石英内衬（7）一种气体供应（8）气体供应: 包括一个MFC （9）可选择: 氧气供应泵（10）气体过滤器（11）压力计（12）截流阀（13）真空泵, 11 cfm, 115v, 15 amp （14）真空泵过滤系统 主要特点：（1）采用电容耦合电极和化的电极设计（号：US Patent. 4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511），低失真、高效率的特性，保证了样品室内等离子体分布的均一性；（2）采用自动调频高频发生器，保证了等离子体发生的稳定性和有效性；（3）采用高精度的流速控制和压力控制部件，保证了气体的精确控制、高重现性混合和分布；（4）采用软件控制，确保控制的方便有效和实时监控；（5）一体化的高真空系统，确保了操作的方便性和稳定性；（6）多种样品室可供选择，如耐热玻璃和石英等，更能满足广大客户的需求多；（7）体积小，可远程操作，多种安全保护，保证操作的安全和方便；（8）样品室和功率设计合理，可满足绝大部分科研需要；（9）全自动操作，方便可靠。 应用领域：（1）科研材料的研究方面，主要是研究和生产企业（2）电子领域，如电路板的生产（3）生物芯片领域，如博奥生物芯片公司（4）高分子材料研究单位，尤其是进行特殊处理的（5）仪器的实验室，作为清洗除污工具，保证仪器的正常使用（6）光学材料单位（7）电化学方面，进行表面处理的单位（8）其他，主要进行表面处理的单位