- Process gas / PFCs gas 同时处理和 PFC 高处理率
Dry (or Wet) & Catalytic Reactor 一体型 (Almighty Type)
Halogen gas (TLV 以下) / PFCs gas (清除率 95% 以上)
催化研究的验证保有多项数据/ 高清除率和信赖度。
现有Wet 方式处理Cl2 较困难，催化 PFC Cl2 在水中可以容易的转变为可分解的HCL并清理。

- 反应附带生成物的可能性低
催化反应可以抑制附产物的生成不会产生燃烧方式中生成的 2种污染物质 Thermal NOx 和

CO, COF2 等附带产物符合环境的工艺。

- 催化分解专用减少了能源费用和 Running Cost 减少
与氧化方式直接比起来更低的温度 (CF4:700℃ , NF3 : 400℃)的反应 :

减少了能源费用/ 减少了Running Cost。
- 防止了排管腐蚀
Scrubber 从后端进入的微量的 HF 和水分 利用高温吸附剂清除: 防止了HF与水分反应后对排

管的腐蚀。

- 无排水化 (催化-Dry)
催化反应在后端设置了 Dry Canister (高温吸附剂) 可以的清除反应附带生成物: 免排水

工艺。