1. 全自动操作，简单易用，非常适用钨灯丝、台式扫描电镜等

• 溅射电流自动调整——设定溅射电流后，系统自动调节真空度，从而达到设定的溅射电流，调整时间＜5s，波动范围＜±5%；

无需按“实验”键调整溅射电流、无需操作“进气阀”。

• 溅射时间自动记忆——同类样品一次设定即可；
• 参数改变自动调整——溅射过程中可以随时调整溅射电流和溅射时长，系统自动计算叠加，无需终止溅射过程；
• 工作完成自动放气；
• 样品台高度调节1秒完成；
• 溅射过程可以利用曲线显示，清晰直观。

2. 软硬件互锁，防误操作，安全可靠

• 真空度高于100Pa，启动真空保护，无法溅射；
• 溅射电流高于50mA，停止溅射过程；
• 真空泵工作时，系统无法进行放气操作；

3. 镀层均匀，导电性良好