P-820系列半导体气体流量计

概要：与P-810系列一样广泛应用于半导体制造工艺中的各种气体流量测控。可制作带有磁簧开关警报装置。

主要用途：半导体生产设备

参数：

测量对象：全部液体,全部气体

流量范围：空气，最小范围:4～20 mL/min (nor)，最大范围:12～60 L/min (nor)

水，最小范围:5～50 mL/min，最大范围:0.2～2 L/min

空气在0c.OMP ( 1 atm)的流量。

选择流量范围时,请到下载中心下载本产品PDF参照标准流量表

气体的使用庄力不为OMPa时，请电话咨询。

有效刻度范围：10:1一-部分为10:2

有效指示精度：P-823:±3o.S.

P-821 :土5%F.S.

最高使用压力：0.8MPa

最高使用温度：120℃

材质构成：

标准：可选

本体接液部：scS14，sus316 (sus316L亦可)

锥管：耐热玻璃

垫圈：FPM(max.120c)，cR (max.80 c)

本体侧板：sPCc，C2801P

面板：亚克力

连接方法：

标准：Rc1/4

可选：Rc1/8,NPT178 1/4,3/8sw,1/4,3/8VGR等。详情请参照基本形式编码表。详情请参照产品选型指南。

安装方法：

标准：面板前安装六角螺母

可选：：安装遮光板

重量（标准型)：约0.6 kg (P-821)

P-820系列半导体气体流量计

※刻度长度根据流量范围变化。

☆1测量范围小于100 mL/min (nor)有效刻度为10:2

☆2测量范围大于30 Lmin (nor）有效刻度为10:2

☆3测量范围大于1 Lmin有效刻度为10:2

☆4测量范围大于10 L/min (nor）有效刻度为10:2

☆5测量范围大于1 L/min有效刻度为10:2

☆6液体的粘度为1.OmPa - sa

☆7液体的粘度为1.0mPa - s。

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