产品描述

P-17台式探针式轮廓仪是第八代台式探针轮廓仪，是40多年的表面量测经验的结晶。该系统业界，支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite^®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

主要功能

·        台阶高度：几纳米至1000μm

·        微力恒力控制：0.03至50mg

·        样品全直径扫描，无需图像拼接

·        视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

·        圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

·        软件：简单易用的软件界面

·        生产能力：通过测序，模式识别和SECS/GEM实现全自动化

主要应用

·        台阶高度：2D和3D台阶高度

·        纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

·        形状：2D和3D翘曲和形状

·        应力：2D和3D薄膜应力

·        缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

·        大学、研究实验室和研究所

·        半导体和化合物半导体

·        LED：发光二极管

·        太阳能

·        MEMS：微机电系统

·        数据存储

·        汽车

·        医疗设备

·        更多信息，请与我们联系以满足您的要求

提供选项

P-17 OF（开放式框架）与P-17的功能相同，但其框架更大因而允许加载更大的样本。该系统可配置成300mm晶圆或240 x 240mm卡盘。