型号描述

质量流量测量仪用于在工艺技术领域直接测量气体通过量。在体积流量测量仪中，还需要测量温度和压力或密度，因为气体的密度或体积会因压力的不同而发生变化。与之相反，质量流量的测量并不取决于压力和温度。8703 型数字式质量流量测量仪具有一个以硅芯片为基础的传感器（参见第 2 页的描述），该传感器直接在气体流中进行测量。通过这种方式可以达到非常短的设备反应时间。当前流量将通过 RS 通讯输出。可针对两种不同的气体对型号 8703 进行校准，用户可在两者之间进行转换。根据用户要求的不同，与介质相接触接头的材料可确保装置能配合所有常见工艺气体运行。

1）采用半导体传感器技术的直接流量测量装置，适合额定流量范围 20 mlN/min 至 80 lN/min (N2)
2）高精度
3）反应快速
4）紧凑型结构和数字通讯

Type Description

The mass flow meter (MFM) type 8703 is suited for measuring the mass flow of gases over a big flow range. The thermal MEMS sensor is located directly in the gas stream and therefore reaches very fast response times. Type 8703 can optionally be calibrated for two different gases; the user can switch between these two gases. The communication with master devices is fully digital, therefore no further analog/digital conversions are needed.

1）Nominal flow ranges from 0.010 lN/min to 80 lN/min
2）High accuracy
3）Very fast response times
4）Digital communication via RS485
5）Compact version