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变形镜
| 波长范围 | 122nm-10.6um |
| 有效直径 | 10-600mm |
| 电极/激励器数 | 600 |
| 行程 | 40um |
| 频率 | 1kHz |
| 损伤阈值 | 50kW/cm2 或 20J/cm2 |
| 泽尼克系数 | 24 |
波前传感器
| 波长范围 | 122nm-10.6um |
| 有效直径 | 4-600mm |
| 微透镜直径 | 低至150um |
| 灵敏度 | Lambda/150 rms |
| 动态范围 | 50 Lambda |
| 频率 | 2kHz |
| 软件 | 实时显示哈特曼和波前分析、泽尼克多项式、2D/3D条纹图、相位图、光强图、M2、PSF、波前P-V和RMS |
哈特曼计
哈特曼计用于测量光学表面平整度，可取代菲佐干涉仪，具有同样的性能。通过一束激光照射到测量表面，然后用夏克-哈特曼波前传感器测量反射回的波前。
主要特点是实时测量，对振动不敏感。
| 波长范围 | 122nm-10.6um |
| 可测口径 | 没有限制（扩束镜） |
| 可测曲率半径 | 没有限制（补偿光器件） |
| 准确度 | Lambda/30 rms |
| 横向分辨率 | 孔径的2/100 |
| 软件 | 实时显示哈特曼和波前分析、泽尼克多项式、2D/3D条纹图、相位图、光强图、M2、PSF、波前P-V和RMS |
自适应光学系统
自适应光学闭循环系统由变形镜、波前传感器及软件组成，可用于高功率激光、同步辐射光束、天文望远镜、生物显微镜等。
软件实时显示哈特曼和波前分析、泽尼克多项式、2D/3D条纹图、相位图、光强图、M2、PSF、波前P-V和RMS；实时参数监控；实时显示镜片上电压；测量镜片电极反应函数等
