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概述
SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。
产品特点
采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm)；
高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；
支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制；
数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；
产品应用
广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。
建议配件
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| 温控台 | Mapping扩展模块 | 真空泵 | 透射吸附组件 |
