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名称 | 内容 | |
测量范围 | Z(垂直) | 160um |
X轴 (水平) | 17.5mm | |
分辨率 | Z轴(垂直) | 0.001um/±20um,0.002um/±40um,0.004um/±80um |
测量项目 | 参数 | Ra Rz==Ry(IS) Rq Rt=RmaxRp Rv R3z R3y RZUIS)Rs Rsk Rku Rsm RmrRPc Rk Rpk Rvk Mr1 Mr2 |
标准 | ISO ANSI DIN JIS | |
图形 | 支承率曲线,粗粘度轮廓曲线 | |
滤波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | |
取样长度 (Ir) | 0.25,0.8,2.5mm | |
评定长度 (In) | In= Irxn (n=l~5) | |
传感器 | 测量原理 | 位移式差动电感 |
触针 | 天然金刚石,90锥角,5um针尖半径 | |
测力 | <4mN | |
导头 | 硬质合金,滑行方向半径40mm | |
滑行速度 | Ir=0.25,Vt=0.135mm/s | |
Ir=0.8,Vt=0.5mm/s | ||
Ir=2.5, Vt=lmm/s | ||
返回 Vt=lmm/s | ||
示值误差 | ≤+10% | |
示值变动性 | <6% | |
电源 | 内置钾离子充电电池,用DC5V,800mA充电器充电 | |
外形尺寸 | 主机: 190x140x65mm 驱动器: 27x32x125mm | |
重量 | 约600g | |
工作环境 | 温度: -20°C~40°C 湿度: < 90% RH | |
储存运输环境 | 温度: -40°C~60°C 湿度: < 90% RH | |
可选配件 | 曲面传感器、小孔传感器、深槽传感器、延长杆、转接杆、微型打印机、200mm测量平台、300mm大理石测量平台 |