超高分辨扫描电镜-聚焦离子束飞行时间二次离子质谱联用仪

GAIA3 GMU Model 2016/GAIA3超高分辨扫描电镜-聚焦离子束飞行时间二次离子质谱联用仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-10-06 08:53:39
278
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束伦(上海)技术服务有限公司

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产品简介

性能指标SEM分辨率:0

详细介绍

性能指标

  1. SEM分辨率: 0.7nm @ 15kV(COF)、1.0nm @ 15kV 1.0nm @ 1kV(COF)、1.4nm @ 1kV
  2. FIB分辨率:2.5nm @ 30kV FIB束流:1pA~50nA
  3. 探测器: 样品室和镜筒内二次电子探测器 样品室和镜筒内背散射电子探测器
  4. 质谱质量分辨率:>800
  5. 质谱探测极限:3ppm
  6. 质谱空间分辨率:40nm(水平方向) 3nm(深度方向)
  7. 附件:能谱仪(EDS)、EBSD 

主要应用

  1. 该设备在双束电镜(SEM/FIB)的基础上配备了EDS和EBSD,同时还集成了一体化的TOF-SIMS。
  2. 该设备不但能进行低电压超高分辨的电镜观察;也能利用FIB对试样进行切割、加工、沉积,从事内部和截面观察及特定图形加工工作。
  3. TOF-SIMS可以进行高空间分辨的质谱分析,可对包含H、Li等传统EDS无法分析的全元素以及同位素进行分布分析。 

样品要求

  1. 送检样品必须为干燥固体、块状、片状、纤维状及粉末状均可。
  2. 应有一定的化学、物理稳定性,在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形;无磁性、放射性和腐蚀性。
  3. 含水分较多的生物软组织的样品制备,要求用户自己进行临界点干燥之前的固定、清洗、脱水及用醋酸(异)戊酯置换等处理,最后由本室进行临界点干燥处理。
  4. 观察图像样品应预先喷金膜。
  5. 一般情况下,样品尽量小块些(≤10x10x5mm较方便)。
  6. 粉末样品每个需1克左右。纳米样品一般需超声波分散,并镀铂金膜。

仪器说明

  1. 超高分辨率的电镜适合多种试样的极限观察;
  2. 超高分辨率的FIB可以进行精确的试样加工,尤适合制备定区域TEM薄片;
  3. TOF-SIMS有着远胜于EDS的空间分辨率;
  4. 元素深度剖析有着非常高的Z方向分辨率,非常适合薄膜分析;
  5. 具有ppm级的探测灵敏度;
  6. 可进行同位素分析。 
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