气体质量流量计 气体流量计 微型流量传感器 厂家

型号：FS4000系列

• 产品概述：MF4000系列带数显；FS4000系列不带数显

  FS4000是采用的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）

  FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。

  FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等

  产品特点:

  -专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而

  设计

  -支持多种连接方式，易于安装与使用

  -传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量

  -在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高

  -输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压

  -零点稳定度高

  -全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性

  -低功耗、低压损

  -响应速度快

  机械尺寸:

  产品特点:

  性能参数	FS4003	FS4008	单位
  通径	3	8	mm
  流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
  量程比	≥100:1
  精度	±(1.5+0.2FS)		%
  重复性	0.25		%
  零点输出飘移	±30		mV
  输出飘移	±0.12		%/℃
  响应时间	10（默认，50，100，200，500，1000可设置）		msec
  工作电源	8~18Vdc,50mA
  输出方式	线性，RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc
  流量压损	100	600	Pa
  工作压力	0.5		MPa
  工作温度	-10 ~ + 55		℃
  存储温度	-20 ~ + 65		℃
  工作湿度	<95%RH（无结冰、无凝露）
  机械接口	BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接头
  校准方式	空气（或其他气体），20℃，101.325kPa
  重量	57（带R1/4,BSPT1/4接口） 71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)		g

  
  
• MF4003-2-R-BV-A
• MF4003-5-R-BV-A
• MF4008-10-R-BV
• MF4008-50-R-BV
• FS4003-2-R-BV-A
• FS4003-5-R-BV-A
• FS4008-10-R-BV
• FS4008-50-R-CV
• FS4001-1000-CVA