控制器可以针对不同的控制器功能进行编程,包括设定流量值,累计,终止累计,从预定值累计,终止和预定总数,自动调零等等.自动调零特性采用了自动调零调整电路,这实际上消除了零漂和量程漂移,此外,DMF系列控制器带有两个干式触点对泵,阀门和其它设备进行控制。
DMF系列的特点是有一自整定功能,它可以使对一定压力小的特定气体的调节达到,在开机时就进行自诊断测试,从而保证控制器工作在工况下。控制器中储存了多达10种的气体校准信息和256种不同气体的转换因数,气体流量高低速限制警报器经由RS-485接口进行编程.流量模式有相应软件的支持,它允许执行多达十条指令的自定义程序。
型号
流量范围 | 型号 |
0-10 SCCM | DMF-41401 |
0-20 SCCM | DMF-41402 |
0-50 SCCM | DMF-41403 |
0-100 SCCM | DMF-41404 |
0-200 SCCM | DMF-41405 |
0-500 SCCM | DMF-41406 |
0-1 L/min | DMF-41407 |
0-2 L/min | DMF-41408 |
0-5 L/min | DMF-41409 |
0-15 L/min | DMF-41411 |
0-30 L/min | DMF-41431 |
0-50 L/min | DMF-41433 |
0-100 L/min | DMF-41842 |
流量量程是相当于氮气在70°F (21°C) @ 760 毫米汞柱的流量
规格
介质:与接液部件兼容的清洁气体
接液材质: 316不锈钢,416不锈钢,
Viton® O型密封圈
精度: 满量程时±1%包括线性以上59-77°F(5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar);
满量程时±2% 32-122°F(0-50°C) 和5-150psia (0.3-10bar)
重复性: 满量程的±0.15%
反应时间: 在20%-99%满量程以上设定点的±2%以内是0.6-1.0秒
输出: 线性0-5VDC(2000Ω小负载阻抗);
0-10VDC(4000Ω小负载阻抗)
微粒尺寸:100微米
工作温度: 41-122°F(5-50°C)
电源: ±15VDC;功率13.5瓦
过程连接: 流速≤50L/m压缩接头是1/4 英寸;100和200L/m是3/8英寸