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FT-332普通方块电阻测试仪
参照标准:
1.硅片电阻率测量的标准(ASTM F84).
2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
双电组合测试方法:
利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,适用于斜置式四探针对于微区的测试。
规格型 | FT-332 |
1.方块电阻范围 | 10-4~2×105Ω/□ |
2.电阻率范围 | 10-5~2×106Ω-cm
|
测试电流范围
| 10μA,100µA,1mA,10mA,100mA |
4.电流精度 | ±0.2%
|
5.电阻精度 | ≤0.3% |
6.显示读数 | 液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 |
7.测试方式 | 普通单电测量 |
8.工作电源 | 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W |
9.误差 | ≤4%(标准样片结果) |
10.选购功能 | 选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻 |
11.测试探头 | 探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针 |