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仪器名称： | 台阶仪，膜厚仪，探针接触式轮廓仪，3D轮廓仪 | 型号 | 美国KLA-Tencor D-120 |
检测项目： | 1、薄膜、涂层厚度测量； 2、表面粗糙度+三维形貌； 3、表面粗糙度测量； 4、三坐标测量+三维形貌测量； 5、2D薄膜应力测量； 6、2D弯曲度和形状测量。 | ||
仪器性能： | 扫描长度：≤30mm； 垂直测量范围（台阶高度）：≤1.9mm； 扫描速度：2μm/s到200μm/s； 垂直范围分辨率：2.5μm台阶高度内测量分辨率0.1nm； 重复精度：0.6nm或0.1%台阶高度 样品厚度：≤20mm； | ||
应用范围： | 可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面二维形貌测量。垂直分辨率1A；垂直范围0-1mm；单次扫描长度范围小于55mm。 | ||
制样要求： | 长宽小于30mm，厚度小于20mm， | ||
PS：送样请附带“委托测试单”。
测试提示：
1.可开正规测试发票，附带测试清单。
2.有腐蚀性，毒性，或其他有危害性等特殊样品要事先告知测试人员，测试人员也要告知样品方哪些样品不能测或会对仪器产生损伤，测试后会对样品产生哪些变化；
3.客户需提供详细的样品资料，包括元素，主要成分和详细测试参数及条件。和测试人员充分讨论，商定最终测试条件；
4.测试人员与顾客通过或邮件沟通，出现测试纠纷，邮件或记录将作为重要的仲裁依据；请加和技术人员交流：。
5.杜绝测试、解析和合成违反国家相关法律法规的样品，一经发现将追究其法律责任。
