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产品简介：
本仪器是一款可以对样品进行目镜观察、相机成像、拉曼光谱检测以及拉曼光谱成像等功能的集成化拉曼光谱仪。
仪器由拉曼光谱仪、拉曼共焦模块、大平台检测显微镜等构成。
特点：
1.全新的MX大平台检测显微镜，支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查，含4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。
2.可以同时插入三个不同波长的拉曼光谱仪检测模块，并且可在软件上进行不同光谱仪间的切换，即可实现多波长拉曼的快速自动检测。
3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多个波长，且可搭配不同性能的光谱仪，如非制冷、制冷、深度制冷等，以满足客户对不同样品、检测精度的不同需求。
4.若选配自动平台，还可以实现自动点扫描进行高光谱成像。
显微镜参数：
| 光学系统 | 无限远光学系统 | 调焦机构 | 粗微动同轴调焦，微动格值：1微米 |
| 行程：35mm | |||
| 目镜 | 大视野（视场数25mm） | 物镜转器 | 六孔转换器 |
| 物镜 | 5X、10X、20X、50X、100X 无限远明暗场半复消金相物镜 | 载物台 | 平台面积：718X420 |
| 移动范围：356X305 | |||
| 带离合器手柄 | |||
| 电动平台 | 平台面积：495X641 | ||
| 移动范围：306XXI06 | |||
| 重复精度：(3+L/50)um | |||
| 照明系统 | 明暗场反射照明器 | ||
| 内置视场/孔径光栏 | |||
| 带滤色片与偏光装置插槽 | |||
| 三目镜筒 | 瞳距55mm-75mm， | CCD适配镜 | 0.5X C-mount |
| 分光比：50/50，100/0，0/100 | |||
| 观察方式 | 明场、暗场、偏光、DIC | 其它 | 高精度测微尺 |
拉曼光谱仪参数：
| 拉曼光谱范围 | 200-3600cm-1 |
| 分辨率 | <15cm-1@25μm slit |
| 激光器 | 532±1nm，线宽≤0.2nm |
| 激光功率稳定性 | ≤3% P-P(@2hrs) |
| 输出功率 | 0-100mW 可调 |
| 滤光片激光截止深度 | OD8 |
| 工作温度 | 0-40℃ |
| 工作湿度 | 5-80% |
| 激光器寿命 | 5000hrs |
