等离子清洗机

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2022-08-26 12:26:02
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产品简介

PR300/301等离子灰化机性能特点:等离子灰化机:大口径石英工作仓配备

详细介绍

PR300/301

等离子灰化机性能特点:
等离子灰化机:大口径石英工作仓配备,小型一体化设计,操作简单的触摸屏控制面板  

等离子灰化机性能用途:
硅晶圆表面光刻胶残留物的灰化
零部件清洗
界面活性处理
微量研磨
基板的表面处理

等离子灰化机性能规格:
型号PR300PR301PR500/PR510
同调方式手动2轴同调方式自动调谐
反应槽3室超硬质玻璃φ64×160mm×31室超硬质玻φ118×160mm石英制φ215×305mm
加热器不锈钢线圈加热器手动/触摸屏联动控制
配管材质SUS不锈钢、特佛伦、铜、铜合金SUS不锈钢、特佛伦
方式DP方式
频率13.56MHz
反应气体1系统2系统
外形尺寸
(W*D*Hmm)
438×520×556mm438×520×656mm438×520×760mm
输出功率Max.300WMax.500W
价格:请问询


 


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