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日本电子X射线能谱仪，具备大的可调分析范围。单色化X射线源可用于高空间分辨率的化学态分析。采用全新设计的用户界面，进一步提升了可操作性，外观设计现代，时尚。采用了Ribbon图形用户界面，在用户友好的环境中，所有的操作可以只用鼠标就能完成。 新开发的考夫曼型蚀刻离子源能提供的蚀刻速率为1 nm/分钟至100 nm /分钟（SiO2），并允许在宽范围的设置。它能够适用于任何应用的剖面分析，不管是精度要求很高的测量还是需要速度的分析。将考夫曼离子源安装在样品交换室上可以防止污染测试室。氩气团簇离子束流适合于有机物样品分析。红外线加热系统能加热到800 °C 以上。转移舱能保护样品不暴露在空气中。
