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PVD真空室气体稳定质量流量控制器ALICAT 在操作条件下进行高精度控制。 CODA 控制器与各种液体和气体（包括许多腐蚀性物质）兼容，并在高达 4000 PSIA 的压力和低至 40 g/h 的流速下保持高精度控制。
PVD真空室气体稳定质量流量控制器ALICAT CODA KC 系列参数
量程范围：40 g/h 至 100 kg/h
测量范围： 2–100 F.S.
精度，NIST 可溯源（液体）：读数的 ±0.2% 或 ±0.05% F.S.，以较大者为准
精度，NIST 可溯源（气体）：读数的 ±0.5% 或 ±0.05% F.S.，以较大者为准
重复性：读数的 ±0.05% 或 ±0.025% F.S.，以较大者为准
零位稳定性：±0.05% F.S.
响应时间：快至500ms
PVD真空室气体稳定质量流量控制器ALICAT CODA KC 系列操作条件
工作温度：–35 至 70°C（流体）； 0 至 60°C（环境）；咨询 Alicat 了解更多选项
耐压：1500 PSIA 大部分单位； 40 g/h 单位为 200 PSIA；可选 4000 PSIA，≥100 g/h
设备的定制范围从 40 g/h 到 100 kg/h ，测量范围为 2 到 100F.S.。
