性能
可用量程：0-5000 slpm；最小0-10 sccm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
可调比：50:1
校准精度（NIST可溯源）：±2%满量程
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：5-10ms
无需预热时间
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面议alicat MQ系列高压气体质量流量计 美国ALICAT
这款多功能MQ系列高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压（160-320 psia）条件下运行流量所需时间，还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度。
准确。流量测量具有NIST可溯源精度，适用于低至满量程1/50th的各种气体，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
使用简单。只要您打开气体质量流量计，气体质量流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
连接。艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式；订购时，可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通讯，方便与您的数字工业或实验室网络整合。
性能
可用量程：0-5000 slpm；最小0-10 sccm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
可调比：50:1
校准精度（NIST可溯源）：±2%满量程
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：5-10ms
无需预热时间
配件（需另行订购）
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件