美国艾里卡特MC系列气体质量流量控制器型号变体

• 低压损型号，最多60 psia（MCW系列）

• 高压型号，160-320 psia（MCQ系列）

• 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）

• 配备气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）

• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

阀门选项

您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持性能。

• MC系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程

• 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用

• MCP系列—选配孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）

• MCH系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。

• MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCS系列）

MC系列气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）

• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）

• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）

• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器

• 集成式电位计控制

• 高精度或自定义校准