• 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）

• 可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）

• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

• 可重复性：0.2%满量程

• 标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

• 无需预热时间

工作条件

• 兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

• 工作温度：-10°C至+60°C

• 内部压力（静态）：145 psig（160 psia）

• 耐受压力：175 psig（190 psia）

包装清单

• MC系列气体质量流量控制器（电源需另行订购）

• NIST可溯源校准证书

• 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

• 过程端口接头和过滤器

• 电源

• 通讯线缆和转换线缆

• BB3和BB9多点式集线盒

• Flow Vision软件