一、简介

　　此阀门为电磁驱动方式，它具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，是真空设备阀门之一。阀门以线圈通电产生电磁力为动力，通过机构与阀板连接，并带动阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀气体。

二、特点

• 标准模块化设计，易于更换及维修;

• 便于清洁的设计;

• 电磁阀采用节能设计，体积小。

三、主要性能指标

• 适用范围：1×10^-5Pa～1.2×10⁵Pa(氟胶圈密封)1×10^-6Pa～1.2×10⁵Pa(波纹管密封)

• 打开时阀板上的压差：≤1.2×10⁵a任意方向

• 阀体和阀座漏率： <1.3×10^-7Pa·L·s^-1

• 保养循环次数：200，000次

• 阀体烘烤温度：≤150℃

• 安装位置：任意(波纹管密封);密封面朝向真空(氟胶圈密封)

• 电源：交流220V或230V 50Hz，起动功率800W、保持功率8W

• 阀门开启或关闭时间：开启≤0.1s;关闭≤1s(氟胶圈密封)、关闭≤0.5s(波纹管密封)

• 阀门位置指示：带有开启位置指示灯