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- 1179A/2179A 质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器,其满量程范围从10sccm-20slm。
- M100B/M10MB 质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围i从10sccm-50slm,模拟通讯接口。
- 1559A/558A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程满为从20-200slm,模拟通讯接口。
- 1579A/579A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程满为从50-300slm,模拟或Profibus通讯接口。