工作电压

110V or 220V 50/60 Hz

输出功率

< 2000W (包含真空泵)

输出电压

• 1600VDC
• 电流：50mA

样品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

样品载物台

• 一个外径50 mm 样品载物台
• 溅射面积: 45 mm

配件包括

• 仪器中包含有一直联式双旋机械泵，可使反应腔体真空度达到10-2 torr
• 用一个KF25的波纹管把真空泵和仪器相连接
• 可以选购一个循环水冷机16L/min

可通入气体

通过针阀通入氩气，能实现更好的等离子涂层

靶材

• 标配靶材：
• 包含：Au target: 50 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  
• 可选靶材: Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N)
  Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N)

外形尺寸

L360mm x W300mm x H380mm

重量

50 kg

质保期和质量认证

一年质保期，终身维护

CE Certified