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产品介绍:
波威提供的266nm激光器可从10mW到1000mW。根据应用的需求,可选不同八种不同功率的输出,产品激光头封装在密封外壳内,可用各种环境条件下。
产品特点:
l 即插即用系统
l 密封和坚固的设计
l 真连续波优良的束流特性
l 输出功率可调闭环控制
l 低噪声和长相干长度
l 单一频率的操作
产品应用:
l 光刻技术
l 干涉测量法
l 光致发光
l 拉曼光谱
l 晶圆和划线检查
产品参数:
型号 | 波长 | 功率 | 功率稳定性 | M² | 数据文件 |
FQCW266-10-C | 266 nm | > 10 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 | |
FQCW266-10 | 266 nm | > 10 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 | |
FQCW266-25-C | 266 nm | > 25 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 | |
FQCW266-25 | 266 nm | > 25 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 | |
FQCW266-50 | 266 nm | > 50 mW | ≤ 1.0 %rms | ≤ 1.3 | |
FQCW266-100 | 266 nm | > 100 mW | ≤ 1.0 %rms | ≤ 1.3 | |
FQCW266-200 | 266 nm | > 200 mW | ≤ 1.0 %rms | ≤ 1.3 | |
FQCW266-300 | 266 nm | > 300 mW | ≤ 0.5 %rms | ≤ 1.3 | |
FQCW266-500 | 266 nm | > 500 mW | ≤ 0.5 %rms | ≤ 1.3 | |
FQCW266-1000 | 266 nm | 1000 mW | ≤ 0.2 %rms | ≤ 1.3 |